電子工業(yè)用氣體四氟化碳新工藝技術(shù)開發(fā)項目通過專家鑒定
發(fā)布時間:2013-01-06 來源:中國化工報 分享到:
日前,由四川眾力氟業(yè)有限責任公司完成的,電子工業(yè)用氣體四氟化碳新工藝技術(shù)開發(fā)項目,已通過四川省科技廳組織的專家鑒定。專家認為,該項目技術(shù)水平達到國內(nèi)領(lǐng)先。
該項目將通過氟碳法生產(chǎn)的四氟化碳凈化、變壓吸附精制、加壓萃取精餾而直接得到電子工業(yè)用氣體四氟化碳。目前,項目已應用于年產(chǎn)500t的生產(chǎn)裝置,有顯著的節(jié)能減排效果。