電子級氫氟酸是氟化氫的水溶液,為無色透明液體, 在25℃時(shí)密度1.15gml(50% HF)。對金屬、玻璃、混凝土等具有強(qiáng)烈腐蝕性。電子級氫氟酸作為集成電路（IC）制造的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一，主要用于芯片的清洗和腐蝕，用時(shí)可與過氧化氫、氨水、硝酸、醋酸等配制使用。
電子級氫氟酸分類：根據(jù)用途的不同,電子級氫氟酸被分為EL、UP、UPS、UPSS及UPSSS等，目前半導(dǎo)體級別產(chǎn)品升級快，對產(chǎn)品雜質(zhì)離子和微粒數(shù)要求更高。國產(chǎn)電子級氫氟酸超過65%應(yīng)用在光伏行業(yè)，其次為半導(dǎo)體行業(yè)，面板行業(yè)應(yīng)用較少。
我國電子級氫氟酸行業(yè)起步較晚，由于技術(shù)壁壘高，高純電子級氫氟酸主要掌握在國內(nèi)個(gè)別企業(yè)，國內(nèi)廠商主要生產(chǎn)EL、UP、UPS級電子級氫氟酸為主，屬電子級的中、低檔產(chǎn)品，目前在國內(nèi)已投產(chǎn)或在建的電子級氫氟酸生產(chǎn)商中，達(dá)到半導(dǎo)體所用級別（UPSS及以上）的有多氟多、濱化股份、中巨芯、浙江森田、興力電子等少數(shù)企業(yè)。
2022年電子級氫氟酸國內(nèi)總產(chǎn)能40萬噸，產(chǎn)量 16.5萬噸，產(chǎn)能利用率約40.1%，高純級電子氫氟酸年產(chǎn)量大約在4.5萬噸左右。行業(yè)產(chǎn)能閑置率較高，高端產(chǎn)品銷往低端應(yīng)用情況普遍，具體下游主要應(yīng)用分布在光伏、半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)域，面板行業(yè)后端應(yīng)用，前端較少。
半導(dǎo)體級別電子氫氟酸占芯片整個(gè)制造成本的不到1%，測試周期至少需要1年以上，量產(chǎn)后需要1年左右的觀察期，期間出現(xiàn)任何品質(zhì)問題都可能退出供應(yīng)行列，使得芯片制造企業(yè)不愿意花費(fèi)大量的財(cái)力物力去評估，企業(yè)產(chǎn)品替換難度較大，半導(dǎo)體芯片制造工藝有成百上千道工序，對電子級氫氟酸的穩(wěn)定性要求非常高，較少有人打破規(guī)矩和供應(yīng)體系，訂單導(dǎo)入難度大、時(shí)間長、流程復(fù)雜。
國產(chǎn)高純級電子酸應(yīng)用量提升緩慢，全球經(jīng)濟(jì)衰退背景下疊加美國芯片法案實(shí)施，國產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展受阻，同時(shí)產(chǎn)品出口包含電子級氫氟酸及無水氟化氫等均有所回落，當(dāng)前電子酸國內(nèi)市場主要依舊在光伏領(lǐng)域，預(yù)計(jì)2023年光伏酸用量份額將繼續(xù)提升。
電子級氫氟酸項(xiàng)目規(guī)劃大集合
據(jù)氟務(wù)在線最新跟蹤統(tǒng)計(jì)，預(yù)計(jì)2023年國內(nèi)可投產(chǎn)新增電子級氫氟酸產(chǎn)能約10萬噸，年內(nèi)新增產(chǎn)量貢獻(xiàn)預(yù)計(jì)將達(dá)到4萬噸。具體企業(yè)進(jìn)度看如下數(shù)據(jù)
1、永晶新材料有限公司
永晶新材料有限公司擬總投資10億元于大英縣經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)紅花壩新建6萬噸/年電子級氫氟酸、6萬噸/年電子級雙氧水及1萬噸/年電子級氟化銨溶液項(xiàng)目。其中一期項(xiàng)目含有產(chǎn)能電子級氫氟酸EL級5萬噸/年、電子級氫氟酸UP級1萬噸/年、電子級氟化銨溶液UP級0.5萬噸/年，二期項(xiàng)目包含產(chǎn)能電子級雙氧水EL級6萬噸/年、電子級氟化銨溶液UP級0.5萬噸/年。預(yù)計(jì)6萬噸電子級氫氟酸將于2024年一季度投產(chǎn)。福建永飛原有5萬噸電子級氫氟酸預(yù)計(jì)再次擴(kuò)產(chǎn)3萬噸至8萬噸/年，預(yù)計(jì)2023年2季度擴(kuò)產(chǎn)成功。
2、多氟多化工股份有限公司
公司電子級氫氟酸產(chǎn)能5萬噸/年，其中用于半導(dǎo)體的1萬噸/年，未來電子級氫氟酸年產(chǎn)能將達(dá)到10萬噸，具體擴(kuò)產(chǎn)進(jìn)程持續(xù)關(guān)注。
3、聯(lián)仕（湖北）新材料有限公司
聯(lián)仕（湖北）新材料有限公司擬投資8億元在荊江綠色循環(huán)產(chǎn)業(yè)園（荊州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)化工園區(qū)）內(nèi)建設(shè)年產(chǎn)49.2萬噸高純電子化學(xué)品純化及分裝項(xiàng)目，其中一期年產(chǎn)18.64萬噸，二期年產(chǎn)30.56萬噸，其中電子級氫氟酸28969噸/年，電子級氟化銨5600噸/年。目前電子級氫氟酸投產(chǎn)約1萬噸。
4、中巨芯（湖北）科技有限公司
中巨芯（湖北）科技有限公司擬總投資 13.8億元，建設(shè)項(xiàng)目總產(chǎn)能為年產(chǎn) 19.6 萬噸超純電子化學(xué)品（含電子級硫酸 8 萬噸/年、電子級氨水 2.5 萬噸/年、電子級氫氟酸 3 萬噸/年、電子級硝酸 3 萬噸/年、電子級雙氧水 2 萬噸/年、電子級異丙醇 1 萬噸/年，電子級混酸 1000 噸/年），具體投產(chǎn)時(shí)間未知。
5、陜西延長石油集團(tuán)氟硅化工有限公司
延長石油集團(tuán)氟硅廠區(qū)現(xiàn)有無水氟化氫產(chǎn)品進(jìn)行提質(zhì)改造深加工處理，在廠區(qū)已有一套10000t/a 電子級氫氟酸裝置的基礎(chǔ)上，再建設(shè)一套20000噸/年電子級氫氟酸裝置，將廠區(qū)99.96%無水氟化氫產(chǎn)品轉(zhuǎn)化為49%電子級氫氟酸，并對廠區(qū)環(huán)保設(shè)施進(jìn)行提升改造。預(yù)計(jì)2萬噸產(chǎn)能于2023年8、9月投產(chǎn)。
6、云南氟磷電子科技有限公司
多氟多化工股份有限公司和云南云天化股份有限公司于2020年12月10日共同出資成立，計(jì)劃在云南天安化工有限公司廠區(qū)內(nèi)擬建本次磷肥副產(chǎn)氟硅資源綜合利用項(xiàng)目一期年產(chǎn)2萬噸電子級氫氟酸項(xiàng)目，項(xiàng)目建成后可達(dá)到年產(chǎn)20000噸電子級氫氟酸的生產(chǎn)規(guī)模，目前項(xiàng)目投產(chǎn)進(jìn)度預(yù)計(jì)靠后，時(shí)間暫時(shí)不明。
7、施達(dá)氟材科技有限公司
施達(dá)氟材科技有限公司二期建設(shè)7萬噸/年無水氟化鋁、1萬噸/年電子級氫氟酸，項(xiàng)目計(jì)劃投資5.2億元，預(yù)計(jì)開工時(shí)間為2023年3月，無水氟化鋁預(yù)計(jì)2024年9月建成，電子級氫氟酸預(yù)計(jì)2025年9月建成。
8、務(wù)川中歐氟電子新材料有限公司
務(wù)川中歐氟電子新材料有限公司鎮(zhèn)南年產(chǎn)4萬噸電子級氫氟酸一期項(xiàng)目生產(chǎn)基地初顯雛形。項(xiàng)目總投資1.22億元。分兩期進(jìn)行，項(xiàng)目建成投產(chǎn)后可年產(chǎn)電子級氫氟酸4萬噸，產(chǎn)品以供應(yīng)產(chǎn)業(yè)園內(nèi)下游氟化工項(xiàng)目使用為主，預(yù)計(jì)2023年四季度投產(chǎn)2萬噸產(chǎn)能。
9、湖北興力電子材料有限公司
湖北興力電子材料有限公司現(xiàn)一期年產(chǎn)1.5萬噸電子級氫氟酸、6000噸電子級氟化銨、6000噸BHF緩沖氫氟酸蝕刻液，在建二期項(xiàng)目同一期產(chǎn)能相同。僑力化工股份有限公司作為公司股東關(guān)聯(lián)方，為僑力化工目前擁6萬噸G5等級、6000噸G3等級電子級氫氟酸，產(chǎn)能居世界前列。興力電子計(jì)劃在建二期1.5萬噸電子級氫氟酸預(yù)計(jì)2024年投產(chǎn)。
10、福建省建陽金石氟業(yè)有限公司
福建省建陽金石氟業(yè)有限公司現(xiàn)有電子級氫氟酸產(chǎn)能2萬噸，新增3萬噸電子酸項(xiàng)目總投資近1.5億元，該生產(chǎn)項(xiàng)目預(yù)計(jì)于2023年6、7、8月份分期投入生產(chǎn)，達(dá)產(chǎn)后可年產(chǎn)5萬噸電子級氫氟酸。其中3萬噸產(chǎn)能包含2萬噸UP級別以及1萬噸半導(dǎo)體級別。
11、福建三化元福新材料有限公司
福建三化元福新材料有限公司現(xiàn)擁有2.5萬噸/年無水氟化氫產(chǎn)能，企業(yè)計(jì)劃于2024年新增1.2萬噸電子級氫氟酸產(chǎn)能，主要規(guī)劃產(chǎn)品應(yīng)用為光伏行業(yè)。
日韓半導(dǎo)體大戰(zhàn)
2019年7月日本政府宣布限制3種日產(chǎn)半導(dǎo)體材料的對韓出口，其中包括高純度半導(dǎo)體用氟化氫。當(dāng)時(shí)，全球半導(dǎo)體企業(yè)70%的氟化氫需從日本進(jìn)口。日方這項(xiàng)出口管制實(shí)施后，將使韓國半導(dǎo)體企業(yè)短期內(nèi)難以找到替代賣家，三星、LG等大型公司將受到巨大沖擊。
日產(chǎn)氟化氫產(chǎn)品在全球市場的占有率高達(dá)80%。日本總計(jì)有3家氟化氫生產(chǎn)企業(yè)，其中森田化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社在市場上幾乎處于壟斷地位。市場上剩余20%的氟化氫產(chǎn)品主要來自中國企業(yè)。7月11日和7月16日，LG與SK海力士分別表示，希望從中國和俄羅斯購買高純度的氟化氫產(chǎn)品。國產(chǎn)高純級電子氫氟酸迎來機(jī)會(huì)，中巨芯、濱化股份、多氟多等企業(yè)均有產(chǎn)品出口韓國市場。
歷時(shí)3年之后，2023年3月22日，韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部長官李昌洋表示，日本將于本周宣布取消部分對韓國出口高科技材料的限制。
根據(jù)《聯(lián)合早報(bào)》消息，韓國通訊社Newsis引述韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部長官李昌洋表述，日本將于本周解除限制向韓出口高純度氟化氫、含氟聚酰亞胺、光致抗蝕劑三種關(guān)鍵半導(dǎo)體材料的措施，韓國據(jù)此撤回之前向世貿(mào)組織提出的申訴也定于本周完成。