企業(yè)動態(tài)_中國無機(jī)鹽工業(yè)協(xié)會

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熱烈祝賀多氟多“磷肥副產(chǎn)氟硅酸生產(chǎn)超純電子級氫氟酸關(guān)鍵技術(shù)及裝備”項目順利通過石化聯(lián)合會高水平成果鑒定

發(fā)布時間：2023-04-26 來源：多氟多分享到：

鑒定委員會聽取董事長李世江的工作報告和董事楊華春的研究報告，審閱了相關(guān)資料。經(jīng)質(zhì)詢和討論，出具鑒定意見：磷肥副產(chǎn)氟硅酸生產(chǎn)超純電子級氫氟酸產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)及裝備整體達(dá)到國際先進(jìn)水平，其中：氟硅酸制工業(yè)無水氟化氫聯(lián)產(chǎn)高品質(zhì)白炭黑技術(shù)部分達(dá)到國際領(lǐng)先水平。

超純電子級氫氟酸作為芯片制造行業(yè)不可替代的關(guān)鍵電子化學(xué)品，其關(guān)鍵技術(shù)和核心裝備被德日等少數(shù)化工企業(yè)掌握并長期壟斷，嚴(yán)重制約著我國芯片產(chǎn)業(yè)的健康可持續(xù)發(fā)展，是亟待攻克的“卡脖子”技術(shù)。面對國家重大戰(zhàn)略需求，多氟多一直以來，堅持科技創(chuàng)新，致力于解決國家“卡脖子”技術(shù)進(jìn)行研發(fā)。經(jīng)過持續(xù)攻關(guān)，自主開發(fā)了以磷肥副產(chǎn)氟硅酸為原料生產(chǎn)工業(yè)無水氟化氫的氟硅酸—氨解—熱解循環(huán)耦合工藝，構(gòu)建氨、氟化鈉的閉路循環(huán)體系；開發(fā)了氟氣預(yù)氧化砷—反應(yīng)精餾—多級膜過濾純化生產(chǎn)超純電子級氫氟酸工藝體系，從工藝、裝備、環(huán)境、質(zhì)量控制等方面突破了痕量雜質(zhì)脫除關(guān)鍵技術(shù)；建成了首套磷肥副產(chǎn)氟硅酸生產(chǎn)萬噸級超純電子級氫氟酸聯(lián)產(chǎn)高品質(zhì)白炭黑生產(chǎn)裝置。

本項目利用磷肥副產(chǎn)氟硅酸生產(chǎn)超純電子級氫氟酸，緩解了氫氟酸對螢石資源的依賴，解決了磷肥生產(chǎn)過程氟污染難題，推動了氟化工與磷化工行業(yè)健康可持續(xù)高質(zhì)量發(fā)展。

超純電子級氫氟酸產(chǎn)品經(jīng)第三方單位檢測，優(yōu)于SEMI G5級標(biāo)準(zhǔn)。已經(jīng)成功應(yīng)用于國內(nèi)外高端芯片制造企業(yè)，進(jìn)入了韓國三星和LG供應(yīng)體系，成為臺積電在中國大陸唯一的電子級氫氟酸合格供應(yīng)商，成功實現(xiàn)進(jìn)口替代，有力支撐了我國電子材料和芯片行業(yè)的發(fā)展。通過項目實施，實現(xiàn)了工藝綠色化、技術(shù)先進(jìn)化、產(chǎn)品高端化目標(biāo)。

項目獲得授權(quán)專利23項，制定了《工業(yè)無水氟化氫》、《工業(yè)高純氫氟酸》等6項國家與行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，承擔(dān)了國家產(chǎn)業(yè)振興和技術(shù)改造項目、國家綠色低碳技術(shù)攻關(guān)項目、國家產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)再造工程等重點專項6項，成為無機(jī)氟新材料領(lǐng)域的典范。

與會專家認(rèn)為此次項目鑒定組織嚴(yán)謹(jǐn)，鑒定內(nèi)容準(zhǔn)備充分，匯報條理清晰，項目實施意義重大。并對項目技術(shù)路線、創(chuàng)新點、技術(shù)指標(biāo)等方面給予良好的建議與意見，為下一步高質(zhì)量申報科學(xué)技術(shù)獎打下基礎(chǔ)。

會議最后，董事長表示，多年來，多氟多圍繞國家戰(zhàn)略發(fā)展方向，瞄準(zhǔn)“卡脖子”難題，先后承擔(dān)了23個國家級項目，下一步，我們將不負(fù)所望、奮發(fā)前行，在低品位資源高值高效利用和打造循環(huán)產(chǎn)業(yè)鏈方面給國家當(dāng)好試點，闖出一條綠色可持續(xù)發(fā)展的“新路子”，助力民族工業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

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