4月23日，多氟多新材料股份有限公司開發(fā)完成的“磷肥副產(chǎn)氟硅酸生產(chǎn)超純電子級氫氟酸（HF）關(guān)鍵技術(shù)及裝備”項目在北京通過了由中國石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會組織的科技成果鑒定。
由中國科學(xué)院院士彭孝軍、清華大學(xué)教授翁端、天津大學(xué)教授李鑫鋼、北京化工大學(xué)教授李群生等組成的鑒定專家組一致認(rèn)為，該項技術(shù)成果整體達(dá)到國際先進(jìn)水平，其中氟硅酸制工業(yè)無水氟化氫聯(lián)產(chǎn)高品質(zhì)白炭黑技術(shù)達(dá)到國際領(lǐng)先水平。
超純電子級氫氟酸作為芯片制造行業(yè)不可替代的關(guān)鍵電子化學(xué)品，其關(guān)鍵技術(shù)和核心裝備被國外少數(shù)化工企業(yè)掌握并長期壟斷，嚴(yán)重制約著我國芯片產(chǎn)業(yè)的健康可持續(xù)發(fā)展，是亟待攻克的“卡脖子”技術(shù)。據(jù)多氟多董事長李世江介紹，該項目利用磷肥副產(chǎn)氟硅酸生產(chǎn)超純電子級氫氟酸，緩解了氫氟酸對螢石資源的依賴，解決了磷肥生產(chǎn)過程氟污染難題，推動了氟化工與磷化工行業(yè)健康可持續(xù)高質(zhì)量發(fā)展。
多氟多董事楊華春表示，多氟多堅持科技創(chuàng)新，致力于解決國家“卡脖子”技術(shù)進(jìn)行研發(fā)。經(jīng)過持續(xù)攻關(guān)，多氟多自主開發(fā)了以磷肥副產(chǎn)氟硅酸為原料生產(chǎn)工業(yè)無水氟化氫的氟硅酸—氨解—熱解循環(huán)耦合工藝，構(gòu)建氨、氟化鈉的閉路循環(huán)體系；開發(fā)了氟氣預(yù)氧化砷—反應(yīng)精餾—多級膜過濾純化生產(chǎn)超純電子級氫氟酸工藝體系，從工藝、裝備、環(huán)境、質(zhì)量控制等方面突破了痕量雜質(zhì)脫除關(guān)鍵技術(shù)；建成了首套磷肥副產(chǎn)氟硅酸生產(chǎn)萬噸級超純電子級氫氟酸聯(lián)產(chǎn)高品質(zhì)白炭黑生產(chǎn)裝置。據(jù)介紹，超純電子級氫氟酸產(chǎn)品經(jīng)第三方單位檢測，優(yōu)于SEMI G5級標(biāo)準(zhǔn)。產(chǎn)品已經(jīng)成功應(yīng)用于國內(nèi)外高端芯片制造企業(yè)，進(jìn)入了韓國三星和LG供應(yīng)體系，成為臺積電在中國大陸唯一的電子級氫氟酸合格供應(yīng)商，支撐了我國電子材料和芯片行業(yè)的發(fā)展。此外，該項目還實現(xiàn)了工藝綠色化、技術(shù)先進(jìn)化、產(chǎn)品高端化目標(biāo)。
多氟多在項目開發(fā)過程中，獲得專利授權(quán)23項，編制《工業(yè)無水氟化氫》《工業(yè)高純氫氟酸》等6項國家或行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，承擔(dān)國家產(chǎn)業(yè)振興和技術(shù)改造項目、國家綠色低碳技術(shù)攻關(guān)項目、國家產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)再造工程等重點專項6項，成為無機(jī)氟新材料領(lǐng)域的典范。李世江表示，多年來，多氟多圍繞國家戰(zhàn)略發(fā)展方向，瞄準(zhǔn)“卡脖子”難題，先后承擔(dān)了23個國家級項目。下一步，多氟多將不負(fù)所望、奮發(fā)前行，在低品位資源高值高效利用和打造循環(huán)產(chǎn)業(yè)鏈方面給國家當(dāng)好試點，闖出一條綠色可持續(xù)發(fā)展的“新路子”，助力民族工業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。（陳菲 危麗瓊）