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四川永晶新材料有限公司擬在沿灘高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)新材料產(chǎn)業(yè)園投資50000萬(wàn)元，建設(shè)年產(chǎn)15萬(wàn)噸電子級(jí)氫氟酸及0.5萬(wàn)噸電子級(jí)氟化銨溶液生產(chǎn)線。

電子級(jí)氫氟酸是濕電子化學(xué)品中的一種，主要應(yīng)用在集成電路、液晶顯示器、太陽(yáng)能光伏、LED制造等工藝中。電子級(jí)氫氟酸由約51%的高純氟化氫和49%的高純水組成，按照下游用途的不同大致可分為半導(dǎo)體級(jí)氫氟酸和光伏級(jí)氫氟酸，其中半導(dǎo)體級(jí)氫氟酸主要應(yīng)用在集成電路、液晶顯示、半導(dǎo)體領(lǐng)域，而光伏級(jí)氫氟酸主要應(yīng)用在光伏太陽(yáng)能電池領(lǐng)域，用于表面清洗、去除氧化物。

電子級(jí)氫氟酸可被分為EL、UP、UP-S、UP-SS、UP-SSS等級(jí)別，其中UP-SSS級(jí)別（相當(dāng)于SEMI G5質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，金屬雜質(zhì)要求≤10ppt）的氫氟酸純度最高，是12寸晶圓及更高規(guī)格的電子半導(dǎo)體產(chǎn)品制造環(huán)節(jié)必須用到的關(guān)鍵材料。

據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，我國(guó)電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)企業(yè)約十幾家，產(chǎn)品級(jí)別集中在UP-S及以下，能夠達(dá)到半導(dǎo)體所用G5級(jí)的企業(yè)僅有幾家，其中已投產(chǎn)的主要是多氟多、湖北興力電子、中巨芯、濱化股份。

多氟多目前擁有電子級(jí)氫氟酸產(chǎn)能5萬(wàn)噸/年，其中G5級(jí)別為1萬(wàn)噸/年，目前在建3萬(wàn)噸/年產(chǎn)能（UPSSS），計(jì)劃2023年建成投產(chǎn)。

濱化股份的電子級(jí)氫氟酸項(xiàng)目于2018年7月開始試生產(chǎn)，產(chǎn)品達(dá)到G5等級(jí)要求。根據(jù)2021年年報(bào)，濱化股份電子級(jí)氫氟酸產(chǎn)能為6000噸/年。

湖北興力電子是興發(fā)集團(tuán)成員企業(yè)，引進(jìn)臺(tái)灣僑力公司電子級(jí)氫氟酸等技術(shù)，在園區(qū)建設(shè)3萬(wàn)噸/年電子級(jí)氫氟酸項(xiàng)目，該項(xiàng)目一期于2021年上半年投產(chǎn)，產(chǎn)能為1.5萬(wàn)噸/年，產(chǎn)品可以達(dá)到G5級(jí)別，已通過(guò)國(guó)內(nèi)外部分高端市場(chǎng)客戶的測(cè)試，實(shí)現(xiàn)批量供應(yīng)。

中巨芯是巨化股份旗下公司，其3萬(wàn)噸/年ppt電子級(jí)氫氟酸擴(kuò)建裝置于2022年順利投料試車，產(chǎn)品達(dá)到G5級(jí)別。

近些年，隨著我國(guó)半導(dǎo)體與光伏行業(yè)步入高速發(fā)展期，電子級(jí)氫氟酸需求與日俱增，在此背景下，國(guó)內(nèi)企業(yè)紛紛入局電子級(jí)氫氟酸，掀起了擴(kuò)產(chǎn)熱潮！

近幾年部分電子級(jí)氫氟酸項(xiàng)目動(dòng)態(tài)