1.1受益集成電路產業(yè)發(fā)展，電子特氣有望快速成長
按照應用領域的不同，工業(yè)氣體可以分為大宗氣體和特種氣體。大宗氣體是指純度要求低于5N，產銷量較大的工業(yè)氣體。特種氣體廣泛用于電子、電力、石油化工、采礦等領域，對純度、品種、性質有特殊要求，產品數(shù)量多但單一產品用量較小。電子氣體指的是專門用于電子半導體領域的一類工業(yè)氣體，可分為電子大宗氣體、電子特種氣體等。（1）電子大宗氣體：指運用于半導體制造中耗量較大的氣體，如氧氣、氮氣、氬氣、氫氣、氦氣和二氧化碳等，主要用于環(huán)境氣、保護氣與載體，一般采用現(xiàn)場制氣生產模式。（2）電子特種氣體：是指應用于電子行業(yè)的氣體，其質量直接影響電子器件的成品率和性能。目前半導體行業(yè)各個環(huán)節(jié)使用的特種氣體有114種，常用的有44種。主要包含有三氟化氮、六氟化鎢、六氟丁二烯、氨氣等，一般采用液態(tài)與瓶裝氣體生產模式。
電子特氣產業(yè)上游原料是空氣、空氣廢氣以及基礎化學原料，下游主要用于集成電路、顯示面板、LED與光伏等泛半導體行業(yè)，2021年需求占比分別為43%、21%、13%、6%。
電子氣體按照制造工序不同可分為外延晶體生長氣、熱氧化氣、外延氣、摻雜氣、擴散氣、化學氣相沉積氣（CVD）、噴射氣、離子注入氣、等離子蝕刻氣、載氣/吹洗氣、光刻氣、退火氣、焊接氣、燒結氣和平衡氣等。
按照氣體所含化學成分，電子特氣可分為含氟氣體、含硅氣體、含硼氣體、含鍺氣體、氫化物氣體等。其中含氟特氣約占全球電子特氣市場的30%左右，主要用作清洗劑、蝕刻劑、摻雜劑及成膜材料等。
我們梳理了2009年以來中國電子特氣的發(fā)展路程，從光伏行業(yè)爆發(fā)帶來電子特氣的第一次迅速發(fā)展到后續(xù)LED、顯示面板以及集成電路行業(yè)的相繼接力，中國電子特氣行業(yè)周期性并不顯著。
（1）第一階段（2009-2011年）：光伏行業(yè)爆發(fā)式增長帶來電子特種氣體行業(yè)第一次發(fā)展
在這一階段，隨著光伏組件價格下降、光伏電站收益率上升，光伏裝機需求顯著上升。2009-2011年中國光伏發(fā)電新增裝機容量由0.2GW增長至2.1GW，年復合增速為259%，光伏裝機需求的爆發(fā)式增長帶來了電子特氣市場的第一次發(fā)展。
（2）第二階段（2012-2014年）：光伏行業(yè)走弱，LED接力，電子特氣市場增長穩(wěn)定
2010年以來LED產業(yè)鏈產能擴張與其替代白熾燈給LED打開廣闊市場空間，2012年2014年LED市場規(guī)模由1920億元增長至3507億元，年復合增速35%，高于十二五規(guī)劃增速26%。LED市場的高速增長承接了2012年歐美雙反所帶來的光伏行業(yè)下滑對電子特氣市場的影響，電子特氣市場實現(xiàn)穩(wěn)定增長。
（3）第三階段（2015-2018年）：顯示面板行業(yè)量價回升維持電子特氣行業(yè)10%以上增長
中國TV品牌崛起提升了對大尺寸面板的需求，隨著國內面板廠商京東方與華星光電開展大尺寸面板產能擴張，以及中國臺灣地震影響群創(chuàng)等公司產能，面板價格迅速上升，量價齊升帶來顯示面板市場迅速回溫，電子特氣市場穩(wěn)定增長。
（4）第四階段（2019-2022年）：集成電路行業(yè)高速發(fā)展，電子特氣增長提速
隨著大數(shù)據(jù)、云平臺、工業(yè)物聯(lián)網的快速發(fā)展與5G應用的到來，芯片市場需求強勁，先進工藝和成熟工藝快速成長，2019-2021年中國集成電路市場復合增速為19%，集成電路行業(yè)的高速發(fā)展維持了電子特氣的穩(wěn)定增長。
1.2電子特氣是集成電路第二大耗材，應用在各工藝生產環(huán)節(jié)
北美半導體協(xié)會數(shù)據(jù)顯示，芯片制造成本中電子氣體（含電子大宗氣體與電子特氣）占比約為14%，是半導體制造的第二大耗材。其中，硅片材料、電子氣體、掩模板、光刻膠占比分別為31%、14%、14%、6%。
半導體制造涉及上千道工序，工藝極其復雜，需使用上百種電子特種氣體。作為集成電路、顯示面板等行業(yè)必需的支撐性材料，電子特氣廣泛應用于清洗、成膜、光刻、刻蝕、摻雜等工藝環(huán)節(jié)。
我們梳理了清洗、成膜、光刻、刻蝕、摻雜等半導體制造涉工序中所使用的主要電子特種氣體：
（1）清洗
清洗是指用化學或物理方法對芯片加工過程及CVD反應腔室中附著的雜質、殘留物等進行清理，是芯片制造中步驟最多的工藝，主要的清洗氣體包括三氟化氮等。
（2）成膜
成膜是指原料氣或蒸汽通過氣相反應沉積出一層金屬或者氧化物亦或氮化物的過程，主要的成膜氣體包含有六氟化鎢、硅烷、笑氣、氨氣等。
（3）光刻
光刻是指通過涂膠、曝光、顯影等工藝，利用化學反應進行微細加工圖形轉移的技術工藝。在光刻過程中，需要充入混合氣，在受到高壓激發(fā)后，混合氣會形成等離子體，在其過程中產生的固定波長的光線在經過聚合、濾波等過程后形成光刻機光源。主要的混合氣有氬/氟/氖混合氣、氪/氖混合氣、氬/氖混合氣、氬/氙/氖混合氣等。目前，烏克蘭供應全球70%的氖氣，40%的氪氣和30%的氙氣。ArF準分子激光器所使用的氬/氟/氖混合氣體中氖氣占比為95%，其中氪氣主要應用于光刻制程，氙氣主要應用于半導體刻蝕制程。
（4）刻蝕
刻蝕氣體用于有選擇地從硅片表面去除不需要的光阻或者光刻膠，其基本目標是在涂膠的硅片上正確地復制掩模圖形。刻蝕氣體主要為氟碳類氣體，如一氟甲烷，二氟甲烷或者三氟甲烷等。除此外，鹵素類氣體也用于刻蝕過程，如氯化氫、溴化氫與氯氣等。
（5）摻雜
在半導體器件和集成電路制造中，通過將摻雜氣體摻入半導體材料內以使其具有所需要的導電類型和一定的電阻率，主要摻雜氣體包括砷烷、磷烷、硼烷、三氟化硼等。
2.1集成電路國產化，電子特氣需求持續(xù)上升
晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片，其產銷數(shù)據(jù)是衡量集成電路行業(yè)景氣度的重要指標之一。SEMI數(shù)據(jù)顯示，2022年全球晶圓出貨量較2021年增長4%，達到147億平方米。據(jù)ICMtia，2021年200-300mm晶圓出貨面積占全球集成電路用硅片出貨面積的93%。因此，我們主要梳理了全球以及中國200mm、300mm晶圓產能情況：
總結一：中國晶圓產能擴張速度將快于全球。
（1）全球晶圓產能：2023年晶圓廠產能擴張將放緩
1）300mm晶圓產能：據(jù)SEMI所發(fā)布的《300mm晶圓廠展望報告》，在2021和2022年強勁增長后，由于內存和邏輯元件需求疲軟，2023年300mm晶圓廠產能擴張將放緩，預計為735萬片/月，且至2026年將達到每月960萬片的歷史新高，該區(qū)間內計劃將有82座新廠房和產線開展運營。2）200mm晶圓產能：據(jù)SEMI所發(fā)布的《200mmFabOutlookto2025》，2021-2025年全球200mm晶圓廠產能將迎來20%的增長以及13條新增的200mm晶圓生產線，預計至2025年晶圓月產達到700萬片的歷史新高。依據(jù)以上預測，我們假定2021-2025年全球200mm晶圓廠產能擴張速度維持在4%，預計2023年全球200mm晶圓廠產能為651萬片/月，晶圓廠生產線數(shù)量為215條。
（2）中國晶圓產能：2022-2026年中國300mm晶圓產能復合增速為12%
1）300mm晶圓產能：依據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，2022年中國300mm晶圓產能為152萬片/月，全球市占率22%，預計至2026年增長至240萬片/月，市占率提升至25%，產能復合增速12%。2）200mm晶圓產能：依據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，我們預測2022年中國200mm晶圓產能為132萬片/月，市場占有率為21%，預計至2025年產能為179萬片/月，復合增速11%。
總結二：晶圓廠產能擴張帶來中國半導體制造份額提升，預計2030年將提升至24%。
由于美國的出口管制，預計未來中國晶圓廠產能擴張重點將繼續(xù)放在成熟技術上?；谥袊A廠產能擴張，未來中國芯片制造能力將穩(wěn)步上升，SIA數(shù)據(jù)顯示2020年中國半導體制造份額為15%，預計將于2030年提升至24%，成熟制程領域國產替代空間廣闊。
總結三：未來晶圓廠產能釋放將帶來電子特氣需求上升，預計2025年中國集成電路用電子氣體規(guī)模預計為134億元，2021-2025年CAGR為12%。
晶圓廠產能釋放將帶來電子特氣需求上升。ICInsights數(shù)據(jù)顯示，中國集成電路市場需求預計將由2020年的1430億美元增長至2025年的2230億美元，復合增速9.3%，市場需求持續(xù)上升。中國集成電路用電子氣體規(guī)模預計將從2021年的85億元增長至2025年的134億元，四年CAGR為12%，行業(yè)前景廣闊。
2.2顯示面板市場：面板價格回暖，行業(yè)有望復蘇
顯示面板是構成顯示器的重要組件之一，主要可分為LCD、LED與MiniLed，下游應用于電視、電腦、平板與車載顯示器等領域。Forst&Sullivan數(shù)據(jù)顯示，在經歷2015-2018年的高速增長之后，目前顯示面板市場規(guī)模穩(wěn)定增長。隨著2023年經濟逐漸復蘇所帶來的換機需求，面板價格持續(xù)回暖，行業(yè)有望實現(xiàn)進一步復蘇。
（1）復盤：行業(yè)發(fā)展已由政策補貼驅動轉向市場驅動，降本增效成為光伏行業(yè)發(fā)展核心
1）全球市場：國際可再生能源機構（IRENA）數(shù)據(jù)顯示，2010-2021年，全球光伏發(fā)電平均度電成本由0.417美元/kWh下降至0.048美元/kWh，降幅達88%，光伏新增裝機量從17.5GW增長至132.8GW，增幅659%。2）中國市場：基于行業(yè)發(fā)展前期的政策支持與技術進步，中國光伏發(fā)電產業(yè)獲得快速成長，目前行業(yè)發(fā)展已由政策補貼驅動轉向市場驅動；受益于光伏產業(yè)鏈各環(huán)節(jié)的技術迭代所帶來的降本增效，2010-2021年中國光伏發(fā)電平均度電成本下降89%，目前光伏發(fā)電已實行平價上網。
（2）展望2023年：近期多晶料供應壓力緩解帶來度電成本下降，光伏行業(yè)需求將進一步釋放，帶動光伏用電子特氣快速增長
據(jù)InfoLinkConsulting數(shù)據(jù)，2023年3月29日多晶硅致密料價格為208元/kg，相較于2022年峰值303元/kg下跌31%，跌幅明顯。中電聯(lián)數(shù)據(jù)顯示2023年1-2月國內新增裝機20GW，同比增長88%，預計2023年國內光伏新增裝機將達到110GW，同比增長22%，帶動光伏用電子特氣快速增長。
3.1行業(yè)壁壘高：技術壁壘、市場拓展壁壘、資金壁壘
（1）技術壁壘
電子特種氣體種類較多，不同類產品的合成、純化等工藝技術可能存在較大差異，且工藝路線長、過程復雜。電子特種氣體對產品純度、產品指標的穩(wěn)定性和一致性要求極高，需要對生產過程中各類雜質含量進行精準有效的控制，工藝難度較大。根據(jù)氣體純度的不同，通常又將氣體純度分為四級，即普通氣體、純氣體、高純氣體和超高純氣體。
電子特種氣體企業(yè)開發(fā)一種滿足半導體工藝要求的氣體品種，往往需要長時間的研發(fā)積累，實現(xiàn)關鍵核心技術的突破，以及在產業(yè)化應用中對工藝參數(shù)不斷進行優(yōu)化。目前國內氣體企業(yè)實現(xiàn)了對部分電子特種氣體品種的國產替代，在產品的開發(fā)和產業(yè)化中，通常要面臨不同類產品之間的核心技術壁壘。
（2）市場拓展壁壘
在中國本土企業(yè)突破技術壁壘，打破國外壟斷并實現(xiàn)氣體國產化后，仍然面臨下游市場拓展問題。原因主要系：1）電子特氣要求氣體超凈高純，且產品批次質量需具備高穩(wěn)定性，下游芯片制造廠商長期使用國外企業(yè)所生產的氣體，對國內企業(yè)產品質量存疑，中國電子特氣產品首次進入下游廠商進行試驗存在一定難度；2）單品類電子特氣占芯片制造成本的比重較低（如電子級氫氟酸只占芯片制造成本的1.2%），而下游行業(yè)的認證周期較長（光伏能源/光纖光纜行業(yè)、顯示面板行業(yè)、集成電路行業(yè)的認證周期通常分別為0.5-1年、1-2年、2-3年），芯片制造企業(yè)花費大量財力物力去評估的動能較弱；3）半導體制造需上千道工序，對氣體穩(wěn)定性要求極高，若產品質量出現(xiàn)問題，輕則導致下游相關批次產品質量不達標，重則擴散污染整條生產線，造成高額損失，下游廠商更換電子特氣供應體系的潛在損失較高。
（3）資金壁壘
電子特氣行業(yè)生產環(huán)節(jié)需要較大規(guī)模的固定資產投入，為了保證產品質量的穩(wěn)定性，還需要投入大量精密監(jiān)測和控制設備。行業(yè)內企業(yè)在擴大業(yè)務規(guī)模的程中，往往通過兼并收購的方式橫向布局，對于資本實力有很高的要求。同時，氣體作為消耗品只能以氣態(tài)和液態(tài)的形式存在，需要專業(yè)的儲存設備，針對瓶裝氣體用戶需要投入大量的氣瓶；針對液態(tài)氣體用戶則需要投入液態(tài)儲罐、氣化器、減壓裝置等固定資產。電子特氣作為?；?，需要具有?；Y質的專門運輸設備，還應當對運輸?shù)娜^程進行跟蹤監(jiān)測和嚴格控制，由此帶來的運輸及監(jiān)控設備投入也較大。
3.2國產替代空間大，部分氣體世界級、中國造
全球電子特氣市場：市場份額集中，工業(yè)氣體龍頭林德等前四大企業(yè)市占率共計48%。2020年全球電子特氣市場主要被德國林德、美國空氣化工、法國液化空氣以及日本大陽日酸占據(jù)，其中林德占比20.2%、液化空氣占比15.5%、空氣化工占比6.6%、大陽日酸占比5.5%。中國電子特氣市場：中國電子特氣發(fā)展時間較短，主要由早期進入中國市場的國外企業(yè)壟斷，國產替代空間廣闊。2020年中國電子特氣市場前四企業(yè)分別為空氣化工、林德、液化空氣、大陽日酸，占比分別為25%、23%、22%、16%。
集成電路用電子特氣品種數(shù)量較少，未來國產化空間廣闊。據(jù)中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計，我國僅能生產約20%的集成電路生產用電子特氣品種，目前國內廠商攻克了成膜、光刻、刻蝕、清洗與離子注入等步驟的部分難點，其余均依賴進口，進口電子氣體價格昂貴、運輸不便，使得電子特氣國產替代需求強烈、空間廣闊。
5年入門、10年磨半劍，部分氣體實現(xiàn)世界級、中國造。經過多年的研發(fā)生產，目前部分電子特氣已經逐漸實現(xiàn)國產化，國內企業(yè)進入者增多，主要可分為三類：1）以華特氣體、金宏氣體為代表的氣體公司，主營業(yè)務以工業(yè)氣體為主，該類公司氣體產品種類較多，逐步覆蓋電子氣體部分品種；2）以中船特氣、昊華科技等為代表的專業(yè)特氣公司，立足于電子特氣主營業(yè)務，經過多年的技術積累，部分品類已形成了獨特的競爭力，發(fā)展?jié)摿Υ螅?）以雅克科技、大光電為代表的電子材料平臺型公司，通過并購以及自主研發(fā)方式實現(xiàn)了光刻膠，電子特氣等產品的多維布局（兩家公司電子特氣板塊占比分別為16%、72%）。
產業(yè)政策助力技術推進，國產化進程有望提速。電子特種氣體作為關鍵性電子材料，在歷史上得到國家產業(yè)政策的大力支持。針對電子特氣行業(yè)所面臨的痛點，國務院、國家發(fā)改委、科技部、工信部、財政部、國家稅務總局等部門相繼出臺一系列產業(yè)支持政策，有力推動了電子特種氣體產業(yè)的發(fā)展。我們所梳理的部分重點政策有：1）2006年國務院所頒布的《國家中長期科學和技術發(fā)展規(guī)劃綱要（2006━2020年）》中提出“極大規(guī)模集成電路制造技術及成工藝”國家科技重大專項（簡稱“”專項），鼓勵研究開發(fā)離子注入、擴散、刻蝕等關鍵工藝用電子特氣；2）2017年針對新材料進入市場初期時下游客戶使用所存在的風險，工業(yè)和信息化部、財政部、保監(jiān)會三部門決定建立新材料首批次應用保險補償機制，對符合條件的電子特氣產品最高補償高達5億元人民幣，若芯片企業(yè)使用國產原材料出現(xiàn)問題，國家險資可承擔80%損失，企業(yè)需承擔20%的損失。3）2019年成立的國家集成電路產業(yè)投資基金二期重點關注的材料方面涵蓋大硅片、光刻膠、掩模版、電子特氣等領域，部分被投標的為細分行業(yè)龍頭（如大光電、中船特氣）。
3.3三氟化氮、六氟化鎢與六氟丁二烯為電子特氣使用量最大的三種氣體
從單品類特種氣體市場規(guī)模來看：2021年全球三氟化氮、六氟化鎢與六氟丁二烯市場規(guī)模居前三，分別為8.80、3.35與3.11億美元，前十氣體市場規(guī)模占比為58%，主要應用于成膜、清洗與刻蝕環(huán)節(jié)。根據(jù)LinxConsulting數(shù)據(jù)，2021年全球電子特種氣體市場規(guī)模為44.23億美元，其中全球市場規(guī)模排名靠前的電子特種氣體為三氟化氮、六氟化鎢、六氟丁二烯、氨氣等，共占58%，主要應用于成膜、清洗與刻蝕環(huán)節(jié)。
從工藝環(huán)節(jié)用特種氣體市場規(guī)模來看：ICMtia數(shù)據(jù)顯示，成膜、清洗+刻蝕是集成電路制造中使用電子特氣規(guī)模最大的兩個環(huán)節(jié)，2021年國內市場規(guī)模分別為12.9、17.9億元。
3.4海外空間廣闊：以三氟化氮及六氟化鎢為例
我們重點梳理了電子特氣市場中規(guī)模最大的三氟化氮與六氟化鎢的國產替代情況。
（1）三氟化氮：2019-2021年中船特氣國內三氟化氮市占率分別為44%、43%與49%，海外三氟化氮市占率分別為3%、4%與5%。依據(jù)TECHCET數(shù)據(jù)，2019-2021年全球三氟化氮供給分別為4.36、4.49、4.87萬噸，國內三氟化氮供給分別為0.99、1.13、1.33萬噸，由此計算出海外三氟化氮市場為3.37、3.36、3.54萬噸。依據(jù)公司公告，2019-2021年公司三氟化氮銷量分別為0.52、0.60、0.82萬噸，公司國內業(yè)務營收占比為82%、80%、80%。我們假定銷往國內的三氟化氮比重為82%、80%、80%，由此計算出銷往海外的三氟化氮為0.09、0.12、0.16萬噸。據(jù)上述數(shù)據(jù)，我們測算出2019-2021年公司國內三氟化氮市占率分別為44%、43%與49%，海外三氟化氮市占率分別為3%、4%與5%。
（2）六氟化鎢：2022年中船特氣國內、海外三氟化氮市場占有率分別為65%、10%
目前中船特氣六氟化鎢產能為0.22萬噸，排名全球第一，因此我們主要梳理中船特氣的國內與國外六氟化鎢市場占有率情況。2022年公司六氟化鎢產能0.22萬噸（假設80%內銷，20%出口。即對應0.18萬噸內銷，0.04萬噸出口），則內銷產能占當年中國市場總供給量（0.27萬噸）的65%，占海外市場總供給量（0.69-0.27=0.42萬噸）的10%。
4.1杭氧股份：工業(yè)氣體龍頭，國產替代、產品升級、治理改善、資產整合
成長路徑：需求增長+市占率提升+盈利能力提升，遠期盈利空間超數(shù)倍。（1）行業(yè)需求持續(xù)增長：1）工業(yè)氣體市場總需求近2000億元，其中第三方外包市場快速增長，預計外包比例將從2021年的41%提升至2025年的45%。2）2021年中國工業(yè)氣體市場規(guī)模同比增長10%，中國人均氣體消費量占西歐、美國等發(fā)達國家人均氣體消費量的30-40%。預計到2025年中國工業(yè)氣體市場規(guī)模復合增速6-8%。（以上數(shù)據(jù)來源：請參考此前發(fā)布的公司深度報告《杭氧股份深度PPT：國產替代、產品升級，邁向工業(yè)氣體龍頭》2022年7月8日）（2）公司市占率提升：國產替代趨勢下，2021年公司在第三方供氣市場的存量份額為9%，增量份額為45%，預計2025年公司第三方市場的份額有望提升1倍；預計遠期公司在第三方存量市場的份額將是2021年的3-4倍（30-40%市占率）。（以上數(shù)據(jù)來源：請參考此前發(fā)布的公司深度報告《杭氧股份深度：有望邁向“中國的林德”》2023年7月4日）（3）公司產品結構升級，盈利能力持續(xù)提升：1）氣體業(yè)務收入占比持續(xù)提升，而氣體業(yè)務的成長性、盈利能力均高于設備業(yè)務。2）氣體業(yè)務中零售業(yè)務的收入占比持續(xù)提升，零售氣盈利能力高于管道氣。3）零售氣體業(yè)務中的電子特氣業(yè)務收入占比將持續(xù)提升，電子特氣業(yè)務的盈利能力遠高于普通工業(yè)氣體零售業(yè)務。
邁向中國工業(yè)氣體龍頭：國產替代，基于空分設備打造全產業(yè)鏈優(yōu)勢。產品結構升級：電子特氣等高附加值業(yè)務打造公司第二成長曲線。在特氣市場，公司以稀有氣體這一工業(yè)氣體的黃金賽道作為切入點，產能有望超預期釋放。長遠看，公司定位于綜合氣體解決方案供應商，產品矩陣將不斷完善，電子特氣、零售氣體等高附加值業(yè)務將打造第二成長曲線。控股股東杭州資本擬并購盈德氣體，并承諾交易完成后推動與上市公司重組。若上市公司與買方SPV進行資產重組，上市公司將實現(xiàn)對同行業(yè)優(yōu)質資產的重組整合，有利于上市公司發(fā)揮協(xié)同效應、擴大生產規(guī)模、提高資產質量、優(yōu)化財務狀況、增強市場競爭力。
4.2僑源股份：民營氣體領軍企業(yè)，受益光伏鋰電等新能源產業(yè)崛起
公司成長路徑：行業(yè)需求增長、公司份額提升、產品品類拓展。1）大行業(yè)：工業(yè)氣體行業(yè)市場空間廣闊。根據(jù)此前外發(fā)報告《以林德氣體為鑒，工業(yè)氣體行業(yè)成長空間廣闊》我們預計2022年中國工業(yè)氣體市場規(guī)模有望接近2000億元，2024年有望達到2199億元，年復合增速6%-8%。2）小公司：公司市占率不足1%，還有較大成長空間。我們測算公司2021年市場占有率達0.46%，預測2024年市占率將有望達到0.77%。3）公司未來將不斷豐富產品品類，拓展高純空分氣體及其特氣市場。
產能有望大幅增長：三個工業(yè)園區(qū)新建項目、兩個技改項目、一個基地產量爬坡。公司現(xiàn)有生產基地三個：汶川基地、福州基地、都江堰基地（備用），2021年液態(tài)氣體產能合計約76萬噸（不含備用產能10萬噸）、管道氣產能5億立方米。我們預計伴隨甘眉工業(yè)園、成阿工業(yè)園、德阿工業(yè)園三個工業(yè)園區(qū)新建供氣項目投產；兩個汶川基地的IPO募投技改項目投產以及一個福州基地的產能利用率增加，公司產能有望大幅提升。預計設計滿產產能液態(tài)工業(yè)氣體達196萬噸（較2021年增長158%，較2022年增長144%），管道工業(yè)氣體產能達15.33億立方米（較2021年增長207%，較2022年增長70%）。
4.3華特氣體：電子特氣先行者；拓品類、切合成，盈利能力提升
中國特種氣體先行者：優(yōu)質客戶覆蓋面廣、品類持續(xù)拓展，向龍頭邁進。公司是特種氣體國產化先行者，在國內8寸、12寸以上集成電路制造廠商實現(xiàn)了超過80%的客戶覆蓋率，公司已取得ASML認證。近年伴隨產品品類、客戶認證逐步增加，2019-2021年收入增速3%/18%/35%，不斷提速。市場廣闊：中國特種氣體市場超400億元，高盈利將培育千億級公司。據(jù)卓創(chuàng)資訊，預計2022年中國特種氣體市場將達411億元（2017年全球市場約合人民幣1500億元），2018-2022年復合增速達19%，預計2022-2025年行業(yè)將維持15%以上增長。競爭格局：特種氣體行業(yè)壁壘高；政策保駕護航，國產替代加速突破。特種氣體行業(yè)的壁壘較高：1）產品技術壁壘、2）客戶認證壁壘、3）營銷服務壁壘。目前全球以及國內的特種氣體，尤其是電子特氣市場是由海外大型跨國公司占據(jù)。近年來在政策的推動下，國產替代進程加速。
公司：技術優(yōu)勢、客戶優(yōu)勢明顯，向合成氣延伸將大幅提升盈利水平。先發(fā)優(yōu)勢明顯：1）技術優(yōu)勢：公司取得ASML等公司認證，目前已具備50種以上特種氣體產品供應能力；2）客戶優(yōu)勢：先發(fā)優(yōu)勢明顯，客戶覆蓋廣泛，有望從半導體向食品、醫(yī)療等領域延伸；3）在先進純化技術的基礎上向合成氣延伸，提升綜合盈利能力：江西華特、自貢華特等項目將在未來3年內續(xù)建成，大幅提升氫化物、氟碳類等高毛利合成氣占比；4）海外網絡優(yōu)勢：公司將持續(xù)強化海外直銷網點建設，中長期有助于提升海外業(yè)務毛利率。
4.4凱美特氣：電子特氣新星，光刻氣體取得ASML認證
展望2023年，傳統(tǒng)業(yè)務有望企穩(wěn)，激光混氣有望快速增長。1）傳統(tǒng)業(yè)務：公司投資20億元用于擴張二氧化碳產能以及投建雙氧水等新品產能。主要項目：（a）福建凱美特擬投資5.2億元實施30萬噸/年高潔凈食品、電子級過氧化氫項目。（b）揭陽凱美特項目總投資14.86億元，完成建設后將實現(xiàn)30萬噸/年高純食品級二氧化碳和30萬噸/年工業(yè)、電子級雙氧水的量產能力。2）電子特氣：公司已取得ASML認證，2023年將重點銷售激光混氣。電子特氣訂單較為飽滿，制造業(yè)與半導體需求下行影響業(yè)績增速。據(jù)公告，截止2022年11月20日，公司在手訂單1.65億元（含稅）。2022年全年，公司公告電子特氣訂單金額2.57億元（含稅），獲全球半導體頭部企業(yè)認可，簽署戰(zhàn)略框架協(xié)議開啟大規(guī)模供應。同時公司正在積極推進相關認證進程。
擬定增募資10億元，用于實施宜章電子特氣、福建雙氧水等項目，正穩(wěn)步推進。公司計劃非公開發(fā)行股份募集資金10億元，用于實施宜章凱美特特種氣體、福建凱美特30萬噸/年（27.5%計）高潔凈食品級、電子級、工業(yè)級雙氧水等兩項目，兩項目計劃投資總金額分別為5.9/5.2億元。宜章凱美特特種氣體項目實施主要產品包括電子級溴化氫、電子級乙炔、氟基混氣等產品。據(jù)公告，預計項目建成后年收入6.8億元，凈利潤2.9億元。公司實控人、董事長完成增持，成交金額1000萬元，彰顯對公司未來發(fā)展信心。電子特氣打造新增長極：稀有氣體激光氣體持續(xù)放量、切入合成電子特氣。公司致力于成為中國領先的專業(yè)電子特種氣體和混氣體研發(fā)及生產加工為一體的電子特種材料供應商，企業(yè)定位“專、精、特”，客戶瞄準掌握全球先進工藝的半導體頭部企業(yè)，專注高毛利、好現(xiàn)金流產品。1）電子特氣一期（岳陽）：稀有氣體（氪氣、氙氣、氖氣等）及激光混氣，產能將不斷釋放。2）電子特氣二期（宜章）：合成類氣體。產品包括鹵族氣體、VOC標氣、氘氣、混氣等產品，預計2025年達產。
4.5陜鼓動力：民族工業(yè)氣體領軍企業(yè)，壓縮空氣儲能打造新增長引擎
透平機械龍頭：從設備向系統(tǒng)服務、能源基礎設施運營升級。公司致力于打造成為全球領先的透平機械系統(tǒng)問題解決方案提供商，2017-2021年歸母凈利潤復合增速37%，幾何ROE為9%。已形成能量轉換設備（2021年收入占比40%）、能量轉換系統(tǒng)服務（35%）、能源基礎設施運營（24%）三大業(yè)務，2021年下游行業(yè)冶金占比72%、石化22%。公司是西安市優(yōu)質地方國企，西安市國資委持股比例達61%。公司已完成兩次股權激勵實施。打造全球領先能量轉換設備制造能力，壓縮空氣儲能有望打造新增長引擎。1）壓縮機組等核心設備市占率全國領先。據(jù)公告，2012-2014年軸流壓縮機、離心壓縮機、工業(yè)流程能量回收裝置等核心產品的市占率分別95%-100%、70%-81%、94%-100%。2）壓縮空氣儲能是最有前途的非電化學的新型儲能技術方向。根據(jù)觀研天下，中性情景下2025年、2030年壓縮空氣儲能累計裝機量分別6.76、43.15GW。公司作為軸流壓縮機龍頭，將充分受益于空氣壓縮儲能商業(yè)化與快速發(fā)展。
能量轉換系統(tǒng)服務：依托設備，打造服務型制造。公司能量轉換系統(tǒng)服務主要包括分布式能源EPC、工業(yè)服務等。公司在臨潼建設全球首個能源互聯(lián)島運營中心。公司面向企業(yè)用戶提供全生命周期的系統(tǒng)服務，提供安全環(huán)保、節(jié)能降本、創(chuàng)新創(chuàng)效、數(shù)字智能的系統(tǒng)服務解決方案。子公司秦風氣體是民族工業(yè)氣體領跑者，設備經驗、客戶資源構筑競爭優(yōu)勢。據(jù)公司官網，控股子公司秦風氣體（上市公司持股比例63.94%）比客戶自運營綜合節(jié)能10%以上，投資、建設、運營的氣體廠有30余個，規(guī)模超過100萬Nm3/h制氧量。據(jù)公告，2021年公司已擁有合同供氣量、已運營合同供氣量分別達119萬方、69萬方，同比分別增長34%、46%，訂單飽滿、增速較快。公司發(fā)展工業(yè)氣體核心競爭力：1）設備制造能力處于國際先進水平；2）設備、系統(tǒng)服務市場占有率較高、品牌影響力較強，有助于開拓氣體市場。